企业信息

    南京嘉阳工程技术有限公司

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  • 公司认证: 营业执照已认证
  • 企业性质:私营企业
    成立时间:2004年3月
  • 公司地址: 北京市 海淀区 海淀街道 南京市玄武区双拜巷
  • 姓名: 袁义飞
  • 认证: 手机未认证 身份证未认证 微信已绑定

    真空等离子表面处理机

  • 所属行业:电气 低压电器 补偿装置
  • 发布日期:2024-11-19
  • 阅读量:340
  • 价格:4000000.00 元/台 起
  • 产品规格:SF-P-2000D-C
  • 产品数量:1111.00 台
  • 包装说明:不限
  • 发货地址:北京海淀海淀  
  • 关键词:

    真空等离子表面处理机详细内容

    一 、 设备构成及特点      
    本等离子体表面处理系统主要包括三个部分:真空腔及真空系统,等离子体发生器,控制系统。
    1、 真空腔及真空系统
    真空腔固定于机柜框架内,机柜的框架尺寸1722X1060X1840,左右两侧为可拆门,背面是对开的两扇门,因此内部的真空腔及真空系统的维修是较方便的。真空腔尺寸600X600X600,可以同时处理九层较大尺寸为550X550的工件。真空腔及真空阀门固定于框架内。外置一台粗抽泵与一台罗茨真空泵,一个与真空泵连接的电磁充气阀门,一台变频器控制真空泵的转速,进行闭环控制,保持真空腔的动态平衡,保证真空腔体内真空度在正常工作范围内。四个给真空腔充入微量气体的比例流量阀。用此阀可调节气体的进气量,以满足等离子表面处理工艺对气体流量和气体比例的要求。为了便于控制,在可调节比例流量阀后串有四个电磁真空挡板阀门。一个给真空腔破真空用的电磁充气阀门。真空计是在腔体内压强低于2.7X103才显示的数显真空计,可设三个控制真空度,本机90-100Pa为充入微量气体的真空度,30Pa为放电下限,100Pa为放电上限。
    2、 等离子体发生器
    等离子体发生器在30Pa--100Pa间给电极板施加电压,产生低温等离子体,见图4等离子体电源框图。利用高频转换技术形成500V、40KHZ的高频电压加到电极板上,当真空腔内达到一定真空度时,产生等离子体放电现象,放电后电路会自动调节电压到适合的值,保证电路正常稳定放电。
    
    
    
    3控制系统
    通过PLC可编程控制器来控制真空泵的开、关,电磁阀门的开、关,等离子发生器电源的开、关,充入微量气体流量,放电真空度,放电功率,放电时间,充入气体的预热时间,处理工艺的配方管理,处理阶段及每一阶段处理时间等。分自动和手动两种方式,见图5控制方式图。其中设置参数包括阶段选择设置,每一个阶段的运行时间设置,每一个阶段的每一种气体流量的设置,充入微量气体的真空度设置及放电真空度的设置。
    
                      
    
                          图5   控制方式图
    二、 技术参数
    输入电压            380V三相50Hz
    输出电压            0--500V
    输出电压频率        40KHz±100Hz
    输出功率            有效功率5Kw,峰值功率12Kw                                                                                                                                                                                                                                 
    输出过载电流        20A
    放电真空度          30-100Pa 
    充入微量气体真空度   90-100Pa
    较间距离            33mm
    
    可加载气体          H2、N2、Ar4、O2等等,可同时接通4种气体

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